ATO靶材
采用纳米ATO粉体材料制备而成，可用于磁控溅射制备导电玻璃和隔热玻璃。
技术指标：
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项目名称 |
指标 |
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外观 |
黑色 |
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成分配比 |
In2O3: SnO2＝90:10 |
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纯度（%） |
In2O3+ SnO2≥99.99 |
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电阻率 |
≤1.5*10-4Ω·cm |
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相对密度 |
≥99 |
注：靶材形状可根据客户要求订制。
